| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR IMPROVING INTERFACE QUALITY OF PLASMA EXCITATION CVD FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09260371(A) |
申请公布日期 |
1997.10.03 |
| 申请号 |
JP19970026908 |
申请日期 |
1997.02.10 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS INC |
发明人 |
ANANDO GUPUTA;BUIRENDORA BUII ESU RANA;AMURITA BUAAMA;MORIN KEE BAAN;SUDOUHAKAA SUBURAMANYAMU |
| 分类号 |
C30B29/18;C23C16/40;C23C16/50;H01L21/205;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316 |
主分类号 |
C30B29/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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