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经营范围
发明名称
VACUUM DEVICE
摘要
申请公布号
JPH04155912(A)
申请公布日期
1992.05.28
申请号
JP19900282485
申请日期
1990.10.19
申请人
NEC YAMAGATA LTD
发明人
ITO ATSUSHI
分类号
F04B37/16;H01L21/02;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/302;H01L21/3065
主分类号
F04B37/16
代理机构
代理人
主权项
地址
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