| 发明名称 |
SELF-ADVANCING SCANNING PROBE MICROSCOPE AND COMPOSITE EQUIPMENT INCLUDING IT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09178760(A) |
申请公布日期 |
1997.07.11 |
| 申请号 |
JP19950351464 |
申请日期 |
1995.12.26 |
| 申请人 |
HITACHI CONSTR MACH CO LTD |
发明人 |
HOSHINO YOSHIHIRO |
| 分类号 |
G01B21/30;G01N37/00;G01Q10/02;G01Q10/04;G01Q30/02;G01Q90/00;G12B5/00;H01J37/28;(IPC1-7):G01N37/00 |
主分类号 |
G01B21/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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