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发明名称
Verbindungshalbleiterbauelement und Verfahren zu seiner Herstellung
摘要
申请公布号
DE69223376(T2)
申请公布日期
1998.03.26
申请号
DE19926023376T
申请日期
1992.08.27
申请人
MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO, JP
发明人
KOHNO, YASUTAKA, C/O MITSUBISHI DENKI K.K., ITAMI-SHI, HYOGO-KEN, JP
分类号
H01L29/812;H01L21/285;H01L21/335;H01L21/338;H01L29/778;(IPC1-7):H01L29/812
主分类号
H01L29/812
代理机构
代理人
主权项
地址
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