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发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS53110479(A) 申请公布日期 1978.09.27
申请号 JP19770025559 申请日期 1977.03.09
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SAKURAI JIYUNJI
分类号 H01L29/78;H01L21/205;H01L21/225;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/308;H01L27/12;H01L29/06 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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