| 发明名称 |
VAPOUR DEPOSITION APPARATUS AND EPITAXIAL LAYER GROWTH METHODS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2168080(B) |
申请公布日期 |
1988.05.11 |
| 申请号 |
GB19850029157 |
申请日期 |
1985.11.27 |
| 申请人 |
* SONY CORPORATION |
发明人 |
KEIICHI * YONEYAMA;KIKUO * KAISE;MASAAKI * AYABE |
| 分类号 |
C23C16/458;C30B25/02;C30B25/12;H01L21/20;H01L21/205;(IPC1-7):C23C16/00 |
主分类号 |
C23C16/458 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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