| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10163127(A) |
申请公布日期 |
1998.06.19 |
| 申请号 |
JP19960324218 |
申请日期 |
1996.12.04 |
| 申请人 |
SHIBAURA ENG WORKS CO LTD |
发明人 |
ONODA TOSHIYASU;MUTO MAKOTO;KASAI MASARU;YOSHIMORI HIROAKI |
| 分类号 |
H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/28;H01L21/306;H01L21/321 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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