| 发明名称 |
Verfahren zum kontaktlosen Belichten |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE1963578(A1) |
申请公布日期 |
1970.06.25 |
| 申请号 |
DE19691963578 |
申请日期 |
1969.12.18 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. |
发明人 |
SKAU MATHISEN,EINAR |
| 分类号 |
G03F7/20;G03H1/00;H01L21/00;H05K3/00 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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