发明名称 VERFAHREN ZUR DRIFTREDUZIERUNG VON PRAEZISIONSRASTERSYSTEMEN
摘要
申请公布号 DD256059(A3) 申请公布日期 1988.04.27
申请号 DD19820242139 申请日期 1982.08.02
申请人 SCHUCHARDT,GERD,DD;VOIGT,LOTHAR,DD;AGSTEN,JUERGEN,DD 发明人 SCHUCHARDT,GERD,DD;VOIGT,LOTHAR,DD;AGSTEN,JUERGEN,DD
分类号 G01B7/02;G01D13/02;(IPC1-7):G01B7/02 主分类号 G01B7/02
代理机构 代理人
主权项
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