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发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR MEASURING ION IMPLANTED AMOUNT USING INFRARED LIGHT SCATTERING
摘要
申请公布号 JPH0233947(A) 申请公布日期 1990.02.05
申请号 JP19880183939 申请日期 1988.07.23
申请人 MITSUBISHI MONSANTO CHEM CO;MITSUBISHI KASEI CORP 发明人 OGAWA TOMOYA;SAKAI KAZUFUMI;YAMADA YUTAKA
分类号 H01L21/265;H01L21/66 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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