薄膜部件取出装置

摘要

本发明涉及一种薄膜部件取出装置，其可以将不易分开的形成切口的薄膜部件一张张地分离而取出。该薄膜部件取出装置(FT)具有：多个吸引部(98)，其被支撑在薄膜部件(8)中的最上面，可以与之接触·分离，并且在前端形成吸附(98a)，前述薄膜部件(8)装载在收容部(26)中，形成多道切口；分开方向移动部件(92)，其使各吸引部(98)在薄膜部件(8)被分开的非对称方向上移动；以及接触分离方向移动部件(82)，其相对于装载的薄膜部件，使吸引部在接触·分离方向上移动，通过吸入气体，将装载在最上面的薄膜部件吸引到吸引部上，并且，在各吸引部彼此接近的状态下，使吸引部从收容部(26)分离而进行取出。

主权项

1.一种薄膜部件取出装置，其具有：收容部，其装载并收容多张形成有切口的薄膜部件；多个吸引部，其被支撑为可以相对于被装载在前述收容部中的多个前述薄膜部件之中位于最上面的前述薄膜部件接触·分离，并且该多个吸引部在前端形成吸附口；气体吸引装置，其从前述各吸附口吸入气体；分开方向移动部件，其使前述吸引部向使前述薄膜部件彼此分开的方向移动；以及接触分离方向移动部件，其使前述吸引部向相对于被装载的前述薄膜部件接触·分离的接触分离方向移动，该薄膜部件取出装置，通过吸入气体而将前述装载在最上面的薄膜部件吸引到前述吸引部上，并且在前述各吸引部彼此接近的状态下，使前述吸引部从前述收容部分离而进行取出。