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发明名称 Sensorsubstrat mit einer Membran und Verfahren zu deren Herstellung
摘要
申请公布号 DE4215722(C2) 申请公布日期 1997.02.13
申请号 DE19924215722 申请日期 1992.05.13
申请人 ROBERT BOSCH GMBH, 70469 STUTTGART, DE 发明人 MUENZEL, HORST, DIPL.-PHYS. DR., 72770 REUTLINGEN, DE;OFFENBERG, MICHAEL, DR.-ING. DR., 72076 TUEBINGEN, DE;REIHLEN, ECKART, DR.-ING., 72766 REUTLINGEN, DE
分类号 G01D5/02;G01F1/684;G01L9/00;G01P5/10;G01P15/08;G01P15/12;(IPC1-7):G01F1/692;G01L7/08;G01F1/28;H01L21/306;G01P5/02 主分类号 G01D5/02
代理机构 代理人
主权项
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