| 主权项 |
1.一种半导体晶圆测试装置,其具有在其上放置一包含待测半导体晶圆的载具之一工作桌、一个将半导体晶圆影像放大做为检视之显微镜、一个将载具内的半导体晶圆运送至显微镜台之机械手臂、及控制每一部分运作之控制器,上述之半导体晶圆测试装置包含:一个晶圆平坦区域调校器,其具有一对滚动脚,每一滚动脚藉由载具下方开放区域与堆叠在载具内晶圆的周边接触且转动;及光学文字识别器,其在载具四周上下前后移动,且其可以插入在载具内的晶圆间,以将在每一晶圆上之号码读出。2.如申请专利范围第1项所述之晶圆测试装置,更包含:一个在其上放置载具的辅助桌,以使得在工作桌上执行完晶圆调校及光学文字识别程序后,机械手臂将预定的一个晶圆传送至显微镜台;及载具运送器,用以将放置在工作桌上的载具翻转并移至上述辅助桌,以使在上述载具内的每一晶圆位于一水平位置。3.如申请专利范围第1或第2项所述之半导体晶圆测试装置,其中所述之光学文字识别器包含:一个在光学文字识别器主体上形成之视窗,用以感测晶圆码的影像;一个读取器,由该视窗读取此晶圆码的影像;及一个反射器柱,其系装设在此视窗的四周,并从上述主体向上突出,且具有一反射器在其端点;上述之反射器将晶圆码传回至读取器,使得读取器将晶圆码读出。4.如申请专利范围第3项所述之半导体晶圆测试装置,其中若所述之反射器柱做上下移动而向上升,其插入放置在工作桌上载具内的晶圆间,而若所述之反射器柱下降,其不会与晶圆接触。5.如申请专利范围第3项所述之半导体晶圆测试装置,其中所述之反射器柱系可旋转地固定至光学文字识别器的主体,使得反射器柱系插入设置在载具内的晶圆间或者系离开在载具内的晶圆。图式简单说明:第一图显示一习用的半导体晶圆测试装置;第二图显示一应用习用的光学识别器的晶圆排序器;第三图显示根据本发明之第一较佳实施例的半导体晶圆测试装置的全部外貌;第四图显示将放置在本发明的半导体晶圆测试装置工作桌上的载具移至预备好的桌上之步骤;第五图为一平坦区域调校器的断面图,用以说明其根据本发明之操作;第六图为一根据本发明的光学文字识别器之断面图;及第七图为本发明的光学文字识别器之前视图。 |
