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发明名称 METHOD FOR PRODUCING DIAMOND FILMS USING A VAPOUR-PHASE SYNTHESIS SYSTEM
摘要
申请公布号 EP0959148(A4) 申请公布日期 2001.09.12
申请号 EP19970933934 申请日期 1997.07.15
申请人 OOO "VYSOKIE TEKHNOLOGII" 发明人 RAKHIMOV, ALEXANDR TURSUNOVICH;SUETIN, NIKOLAI VLADISLAVOVICH;SAMORODOV, VLADIMIR ANATOLEVICH
分类号 C30B29/04;C01B31/06;C23C16/02;C23C16/27;C23C16/56;C30B25/10;H01J1/30;H01J9/02;(IPC1-7):C23C16/56;H01J1/304;C30B25/02 主分类号 C30B29/04
代理机构 代理人
主权项
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