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发明名称 Polymer und Resistmaterial
摘要
申请公布号 DE69612182(T3) 申请公布日期 2005.08.04
申请号 DE1996612182T 申请日期 1996.12.13
申请人 WAKO PURE CHEMICAL INDUSTRIES, LTD. 发明人 URANO, FUMIYOSHI;FUJIE, HIROTOSHI;OONO, KEIJI
分类号 C08F212/14;G03F7/004;G03F7/039;(IPC1-7):G03F7/039;C08F12/14;C08F112/14 主分类号 C08F212/14
代理机构 代理人
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