激光光斑测量装置及其测量方法

摘要

本发明涉及一种激光光斑测量装置及其测量方法。该装置由DMD微反射镜阵列、数字相机、曝光控制器和图像数字处理器组成；所述的曝光控制器设有两个输出端，分别输出信号控制DMD微反射镜阵列和数字相机；所述的图像数字处理器的输入端和数字相机的视频信号输出端连接。其方法是利用了DMD微反射镜阵列器件可实现分时、分区域改变入射光路的特性，从而达到准确控制曝光过程，获得具有高动态范围的激光束检测图像，经数据处理，得到光斑直径、椭圆率、位置、中心点、三维轮廓、功率等参数。由于整个过程在较短的时间内，避免了激光斑的位置和能态随时间的变化等缺陷，更准确地测量出激光束的光束质量。

主权项

1. 一种激光光斑测量装置，其特征在于：它由DMD微反射镜阵列、数字相机、曝光控制器和图像数字处理器组成；所述的曝光控制器，它的一路输出端与数字相机的曝光控制端连接，另一路输出端与DMD微反射镜阵列的控制端连接；数字相机的视频信号输出端连接图像数据处理器输入端，图像数据处理器的一路输出端与曝光控制器的连接。