| 发明名称 |
PASTICLE RAY ANALYZING UNIT |
| 摘要 |
PURPOSE:To obtain a shallow depth of focus by making the angle estimated to be an electron beam iris opening. |
| 申请公布号 |
JPS51132885(A) |
申请公布日期 |
1976.11.18 |
| 申请号 |
JP19750007130 |
申请日期 |
1975.01.17 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
YAMADA MITSUHIKO;NAGATANI TAKASHI |
| 分类号 |
G01N23/225;H01J37/147;H01J37/252;H01J37/28 |
主分类号 |
G01N23/225 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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