| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR SUBSTRATE AND ITS MANUFACTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08330554(A) |
申请公布日期 |
1996.12.13 |
| 申请号 |
JP19950343252 |
申请日期 |
1995.12.28 |
| 申请人 |
NEC CORP |
发明人 |
KIKUCHI HIROMASA;ARAI KENICHI |
| 分类号 |
H01L21/76;H01L21/02;H01L21/336;H01L27/088;H01L27/12;H01L29/78;(IPC1-7):H01L27/12 |
主分类号 |
H01L21/76 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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