发明名称 芯片冷却装置
摘要 本发明公开了一种芯片冷却装置,包括位于该装置底部且与芯片相匹配的冷却室、存储有冷却液的冷却液池、第一微流道、第一微泵、第二微流道、微喷嘴、第三微流道、第二微泵、第四微流道、冷凝器和微孔;第一微泵的一端通过第一微流道与冷却液池相连通,另一端通过第二微流道与微喷嘴相连通;微喷嘴设于冷却室的上方且与冷却室相连通;第二微泵的一端通过第三微流道与冷却室相连通,另一端通过第四微流道与冷凝器相连通;冷凝器位于冷却液池的上方,冷凝器的内部设有冷凝流道,冷凝流道的顶部设有散热片,冷凝流道与冷却液池通过微孔相连通。本发明体积小、散热效率高,具有很高的可控性和工作柔性,可满足芯片在不同工况下的冷却要求。
申请公布号 CN101645430A 申请公布日期 2010.02.10
申请号 CN200910102204.5 申请日期 2009.09.03
申请人 浙江大学 发明人 应济;李俊;徐亮;林谢昭
分类号 H01L23/427(2006.01)I;H01L23/367(2006.01)I;H01L21/48(2006.01)I 主分类号 H01L23/427(2006.01)I
代理机构 杭州求是专利事务所有限公司 代理人 林怀禹
主权项 1.一种芯片冷却装置,其特征在于:它包括冷却液池(1)、第一微流道(12)、第一微泵(2)、第二微流道(23)、微喷嘴(3)、冷却室(4)、第三微流道(46)、第二微泵(6)、第四微流道(67)、冷凝器(7)和微孔(8),所述冷却液池(1)存储有冷却液;第一微泵(2)的一端通过第一微流道(12)与冷却液池(1)相连通,第一微泵(2)的另一端通过第二微流道(23)与微喷嘴(3)相连通;所述冷却室(4)位于所述芯片冷却装置的底部且冷却室(4)与所述芯片相匹配;所述微喷嘴(3)设于冷却室(4)的上方且与冷却室(4)相连通;第二微泵(6)的一端通过第三微流道(46)与冷却室(4)相连通,第二微泵(6)的另一端通过第四微流道(67)与冷凝器(7)相连通;所述冷凝器(7)位于冷却液池(1)的上方,冷凝器(7)的内部设有冷凝流道(71),冷凝流道(71)的顶部设有散热片(72),所述冷凝流道(71)与冷却液池(1)通过微孔(8)相连通。
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