| 发明名称 | 一种透明导电薄膜的激光刻蚀方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种透明导电薄膜的激光刻蚀方法，包括如下步骤：(1)采用短波长红外脉冲激光器输出波长在1.4μm～3.0μm之间的脉冲激光，脉冲宽度为0.1ns～800ns,并进行准直处理，所述短波长红外脉冲激光器为光纤激光器，单脉冲激光能量为1～2000微焦，脉冲频率为1千赫兹到1兆赫兹；(2)使所述脉冲激光束照射到放在二维平移台上的薄膜基板上，控制激光束与二维平移台相对运动，使激光束聚焦点在透明导电薄膜上按设定路径移动，进行刻蚀，控制激光和透明导电薄膜相对运动速度为50mm/s～9000mm/s，光斑交叠程度为10～90%。本发明能够克服现有技术中激光聚焦精度要求高，实现复杂的问题。 | ||
| 申请公布号 | CN104475979B | 申请公布日期 | 2016.08.24 |
| 申请号 | CN201410600730.5 | 申请日期 | 2014.10.31 |
| 申请人 | 苏州图森激光有限公司 | 发明人 | 蒋仕彬 |
| 分类号 | B23K26/362(2014.01)I | 主分类号 | B23K26/362(2014.01)I |
| 代理机构 | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人 | 陶海锋 |
| 主权项 | 一种透明导电薄膜的激光刻蚀方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)采用短波长红外脉冲激光器输出波长在1.4μm～3.0μm之间的脉冲激光，脉冲宽度为0.1ns～800ns,并进行准直处理，所述短波长红外脉冲激光器为光纤激光器, 单脉冲激光能量为1～2000微焦, 脉冲频率为1千赫兹到1兆赫兹；(2)使脉冲激光束照射到放在二维平移台上的透明导电薄膜上，控制激光束与二维平移台相对运动，使激光束聚焦点在透明导电薄膜上按设定路径移动，进行刻蚀，控制激光和透明导电薄膜相对运动速度为50mm/s～9000mm/s, 光斑交叠程度为10～90%。 | ||
| 地址 | 215011 江苏省苏州市苏州高新区竹园路209号 | ||