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发明名称 WASHING/DRYING METHOD WITH AN AQUEOUS SOLUTION CONTAINING SURFACTANT
摘要
申请公布号 US5203927(A) 申请公布日期 1993.04.20
申请号 US19910691915 申请日期 1991.04.26
申请人 FUJITSU LIMITED 发明人 YOSHIDA, ICHIRO;IIDA, HIROSHI;KAWAASHIMA, SHUZO;KUROIWA, FUKUJI;ITO, ISAMU;ASANOME, SATORU;FUJIMORI, TOSHIJI
分类号 B08B3/12;C11D1/00;C11D1/82;C11D11/00;C23G1/24;H01L21/00;H01L21/306;H05K3/26 主分类号 B08B3/12
代理机构 代理人
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