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发明名称 ANTIREFLECTIVE SILICON-CONTAINING COMPOSITIONS AS HARDMASK LAYER
摘要
申请公布号 EP1521797(A4) 申请公布日期 2006.12.20
申请号 EP20020765835 申请日期 2002.07.11
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 ANGELOPOULOS, MARIE;ARIRAM, ARI;GUARNIERI, C., RICHARD;HUANG, WU-SONG;KWONG, RANEE;MOREAU, WAYNE, M.
分类号 C08G77/04;C08K5/00;B05D5/00;B32B9/04;C08G77/14;C08G77/38;C08J7/18;C08K5/34;C08K5/42;C08L83/04;C08L83/06;G03C1/76;G03F7/075;G03F7/09;H01L21/312;H01L21/3213 主分类号 C08G77/04
代理机构 代理人
主权项
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