发明名称 DISPOSICION PARA EL ACOPLAMIENTO DE ENERGIA DE MICROONDAS CON ADAPTACION DE LA IMPEDANCIA.
摘要 Disposición para el acoplamiento de energía de microondas en un cuerpo hueco (2), que forma una cámara de tratamiento (3), especialmente una cámara de tratamiento de CVD de plasma para el recubrimiento de la pared interior de un cuerpo hueco (2), con una fuente de microondas, una instalación de acoplamiento de microondas (10), una guía de microondas (1, 9) y un tubo de alimentación de gas (13), a través del cual se puede introducir gas de proceso en el cuerpo hueco (2) y se puede activar a través de la energía de microondas acoplada en el estado de plasma y que se extiende desde un primer lado coaxialmente en el cuerpo hueco (2), mientras que la instalación de acoplamiento de microondas (10) se encuentra sobre el segundo lado opuesto, caracterizada porque el tubo de alimentación de gas (13) presenta como conductor interior de gas de una guía de ondas coaxial (1) material conductor de electricidad y porque un inserto conductor interno (12) esencialmente en forma de envolvente cilíndrica, conductor eléctrico, adicional está montado en la guía de ondas coaxial, que rodea coaxialmente a distancia el tubo de alimentación de gas (13).
申请公布号 ES2292556(T3) 申请公布日期 2008.03.16
申请号 ES20010902303T 申请日期 2001.01.11
申请人 TETRA LAVAL HOLDINGS & FINANCE SA 发明人 MOORE, RODNEY;KASS, HANNO;ESSERS, WOLF
分类号 H01J37/32;H05H1/46;C23C16/511 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
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