| 主权项 |
1.一种半导体制造装置之操作系统,系用于一可操作操作盘部之开关部而运转之半导体制造装置者,该系统之特征在于具有:用以令前述半导体制造装置之可操作范围对应于作业者之可操作层次做阶段分级且使该各阶段相当于操作层次,并对前述操作盘部,以该操作层次为参数而予以设定的操作层次设定部;在前述操作盘部之每一开关部储存对该作业者所规定可操作之操作层次情报的第1记忆部;储存前述操作层次设定部所设定的操作层次之第2记忆部;及依储存于前述第1记忆部及第2记忆部内的情报,而对前述之各开关设定其成为可操作或不可操作之任一状态的状态设定部。2.如申请专利范围第1项所记载之操作系统,其中前述半导体制造装置系液晶显示器其板制造装置。3.一种半导体制造装置之控制装置的操作系统,系用于可经操作操作部之开关部而运转之半导体制造装置的控制装置者,该系统之特征在于具有:用以令前述控制装置之可操作范围对应于作业者所得以操作之层次作阶段分级,且使各阶段相当于操作层次,并使作业者所被分配担当之操作层次与对应于该作业者之作业者情报互相对应而加以储存的操作层次记忆部;用以输入作业者情报之输入部;依输入于该输入部之作业者情报与储存于前述操作层次记忆部内的情报设定操作层次的操作层次设定部;用以在前述操作盘部之每一开关部储存对该作业者所规定可操作之操作层次情报的第1记忆部;储存前述操作层次设定部所设定的操作层次之第2记忆部;及依储存于前述第1记忆部及第2记忆部内之情报,而对前述之各开关部设定使其呈可操作或不可操作之任一状态的状态设定部。4.如申请专利范围第3项所记载之操作系统,其中前述作业者情报中含有该作业者之种别。5.如申请专利范围第3项所记载之操作系统,其中前述作业者情报中含有该作业者之名字。6.如申请专利范围第3项所记载之操作系统,其中前述作业者情报中含有该作业者所被分配担当之暗号。7.如申请专利范围第3项所记载之操作系统,其中前述控制装置系用于半导体制造装置者。8.如申请专利范围第3项所记载之操作系统,其中前述控制装置系用于液晶显示器。9.一种半导体制造装置之控制装置的操作方法,包含有:将半导体制造装置之控制装置的可操作范围依作业者可操作层次作阶段区分,并使各阶段相当于操作层次之步骤;将每一操作用开关部预先订定可操作之操作层次,并输入包含作业者之种别及对应于作业者之作业情报以设定操作层次之步骤;及,使仅至所设定之操作层次为止的操作层次开关部才可能操作,而超过该操作层次之开关部不能操作的步骤。图式简单说明:第一图系适用于本发明的控制装置之操作系统的纵型热处理装置,显示将其全构造一部分截断之斜视图。第二图系为显示第一图之纵型热处理装置之全构造的侧视图。第三图系为显示用于本发明之实施例的操作盘之初期画面说明图。第四图系为显示为了设定用于本发明之实施例的操作盘之操作层次画面之说明图。第五图系为显示为了输入用于本发明之实施例的操作盘之暗号画面说明图。第六图系为显示用于本发明之实施例的开关部与操作层次互相对应之说明图。第七图系为于本发明之实施例上,依操作层次之设定而显示操作可能之开关部与操作不能之开关部的说明图。第八图系为本发明之实施例重要部位之操作画面,其显示控制系统及操作层次设定部等的构成图。第九图系为显示本发明之实施例的操作画面之一例子的说明图。 |
