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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH03239331(A)
申请公布日期
1991.10.24
申请号
JP19900036558
申请日期
1990.02.16
申请人
MATSUSHITA ELECTRON CORP
发明人
FURUKAWA HIDETOSHI
分类号
H01L21/3213;H01L21/027;H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/338;H01L29/812
主分类号
H01L21/3213
代理机构
代理人
主权项
地址
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