| 发明名称 |
VACUUM DEVICE AND THIN FILM FORMING METHOD USING IT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06342761(A) |
申请公布日期 |
1994.12.13 |
| 申请号 |
JP19920208685 |
申请日期 |
1992.08.05 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;DAIDO HOXAN INC |
发明人 |
HAGA TORU;FUJISAKI YOSHIHISA;MIYATA TOSHIMITSU;OUCHI KIYOSHI;OKUMURA KENJI;OOMORI YOSHINORI |
| 分类号 |
H01L21/203;C30B23/02;C30B25/16;H01L21/205;H01L21/302;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
H01L21/203 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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