发明名称 METHOD FOR PRODUCING SILICON
摘要
申请公布号 EP1437327(A4) 申请公布日期 2006.06.14
申请号 EP20020788582 申请日期 2002.10.18
申请人 TOKUYAMA CORPORATION 发明人 WAKAMATSU, SATORU;ODA, HIROYUKI
分类号 C01B33/03;C01B33/107;C30B15/00;C30B25/02;(IPC1-7):C01B33/03;C30B29/06 主分类号 C01B33/03
代理机构 代理人
主权项
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