发明名称 |
METHOD FOR PRODUCING SILICON |
摘要 |
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申请公布号 |
EP1437327(A4) |
申请公布日期 |
2006.06.14 |
申请号 |
EP20020788582 |
申请日期 |
2002.10.18 |
申请人 |
TOKUYAMA CORPORATION |
发明人 |
WAKAMATSU, SATORU;ODA, HIROYUKI |
分类号 |
C01B33/03;C01B33/107;C30B15/00;C30B25/02;(IPC1-7):C01B33/03;C30B29/06 |
主分类号 |
C01B33/03 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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