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发明名称 METHOD AND EQUIPMENT FOR TESTING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08327694(A) 申请公布日期 1996.12.13
申请号 JP19950133701 申请日期 1995.05.31
申请人 NEC YAMAGATA LTD 发明人 IGARASHI KINICHI
分类号 G01R31/26;H01L21/02;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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