发明名称
摘要
申请公布号 JPH02501609(A) 申请公布日期 1990.05.31
申请号 JP19880508192 申请日期 1988.08.15
申请人 发明人
分类号 H01L29/78;H01L21/28;H01L21/283;H01L21/31;H01L21/312;H01L29/423;H01L29/43;H01L29/49;H01L29/51;H01L29/94 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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