スパッタリングターゲット

摘要

Ｃｏを含有する金属マトリックス相と、粒子を形成して分散して存在する６〜２５ｍｏｌ％の酸化物の相（以下、「酸化物相」という。）から構成されるスパッタリングターゲットであって、ＸＲＤの単一ピークの中で最も高いピークの積分幅が０．７以下であることを特徴とするスパッタリングターゲット。スパッタリング時の初期パーティクルの発生を抑制してバーンイン時間を低減するとともに、スパッタする際に安定した放電が得られる非磁性材粒子分散型スパッタリングターゲットを提供する。【選択図】 なし