| 摘要 |
L'invention concerne un procédé d'obtention d'un évidement à flanc incliné dans un substrat, selon lequel des zones superficielles du substrat sont recouvertes, en fonction de l'évidement à obtenir, par un cache de réserve inattaquable par un liquide corrosif isotrope, après quoi on effectue une gravure isotrope. Afin de pouvoir obtenir avec un tel procédé des flancs inclinés de très faible pente, on dépose, avant l'apport du cache de réserve (5) sur les zones superficielles (3) du substrat (2), une couche (4) enlevable par le liquide corrosif isotrope. |
