| 发明名称 |
IMPROVED DEPOSITION METHOD OF THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10144628(A) |
申请公布日期 |
1998.05.29 |
| 申请号 |
JP19970221862 |
申请日期 |
1997.07.14 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS INC |
发明人 |
CHII CHAAN;WEI CHANG;MARVIN RYAO;JIENIFUAA MEN CHIYU TSUEN;MEI CHAN |
| 分类号 |
C23C14/02;C23C16/44;C23C16/46;C23C16/52;H01L21/205;H01L21/28;H01L21/285;(IPC1-7):H01L21/285 |
主分类号 |
C23C14/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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