发明名称 |
基于黑磷/二硫化钼异质结的光探测器 |
摘要 |
本发明公开了一种基于黑磷/二硫化钼异质结的光探测器,属于光探测技术领域,解决器件不具有宽光谱、快速、低噪声的响应特性,同时不具有与CMOS工艺兼容、体积小、易于集成和响应光谱范围可调的问题。本发明包括二氧化硅衬底层,二氧化硅衬底层上设置的二硫化钼层,在二硫化钼层的上表面覆盖设置的黑磷导电层,黑磷导电层和二硫化钼构成异质结结构,所述黑磷导电层上设置有第一电极层和第二电极层。本发明用于实现宽光谱、超快响应的光探测器。 |
申请公布号 |
CN105679876A |
申请公布日期 |
2016.06.15 |
申请号 |
CN201610155951.5 |
申请日期 |
2016.03.18 |
申请人 |
电子科技大学 |
发明人 |
陆荣国;叶胜威;田朝辉;寿晓峰;陈德军;张尚剑;刘永 |
分类号 |
H01L31/109(2006.01)I;H01L31/0264(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/109(2006.01)I |
代理机构 |
成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 |
代理人 |
徐金琼 |
主权项 |
一种基于黑磷/二硫化钼异质结的光探测器,其特征在于:包括二氧化硅衬底层(1),二氧化硅衬底层(1)上设置的二硫化钼层(2),在二硫化钼层(2)的上表面覆盖设置的黑磷导电层(3),黑磷导电层(3)和二硫化钼(2)构成异质结结构,所述黑磷导电层(3)上设置有第一电极层(4)和第二电极层(5)。 |
地址 |
611731 四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号 |