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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH04326751(A) 申请公布日期 1992.11.16
申请号 JP19910096866 申请日期 1991.04.26
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 KOIKE KENICHI;TSUCHIMOTO JUNICHI
分类号 H01L21/28;H01L21/768 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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