发明名称 Reinigung von Siliziumtetrachlorid.
摘要
申请公布号 DE69102980(D1) 申请公布日期 1994.08.25
申请号 DE19916002980 申请日期 1991.11.29
申请人 SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 OGIHARA, TSUTOMU, JOUETSU-SHI, NIIGATA-KEN, JP;SHIMIZU, TAKAAKI, JOUETSU-SHI, NIIGATA-KEN, JP;NARUSE, MASAHIKO, JOUETSU-SHI, NIIGATA-KEN, JP
分类号 C01B33/107;(IPC1-7):C01B33/107 主分类号 C01B33/107
代理机构 代理人
主权项
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