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发明名称 SAMPLE HOLDER DEVICE FOR SPUTTERING
摘要
申请公布号 JPH059726(A) 申请公布日期 1993.01.19
申请号 JP19910164313 申请日期 1991.07.04
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 MURAKAMI MOTOYOSHI;KUDO YOSHIHIKO
分类号 C23C14/34;C23C14/50 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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