| 发明名称 |
POLYCRYSTALLINE SILICON THIN FILM AND TRANSISTOR EMPLOYING THE THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0685264(A) |
申请公布日期 |
1994.03.25 |
| 申请号 |
JP19910034410 |
申请日期 |
1991.02.28 |
| 申请人 |
TONEN CORP |
发明人 |
NAGAHARA TATSURO;KAKIGI HISASHI |
| 分类号 |
H01L21/205;H01L27/12;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/784 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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