| 发明名称 |
ETCHING METHOD FOR PROTECTIVE FILM OF SEMICONDUCTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0799179(A) |
申请公布日期 |
1995.04.11 |
| 申请号 |
JP19940098893 |
申请日期 |
1994.05.12 |
| 申请人 |
ASAHI GLASS CO LTD |
发明人 |
YOKOZUKA TOSHISUKE;AOSAKI KOU;NAKAMURA HIDE |
| 分类号 |
C09K13/08;H01L21/306;H01L21/308;H01L21/312;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
C09K13/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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