发明名称 Photolackzusammensetzung
摘要
申请公布号 DE69124865(T2) 申请公布日期 1997.07.10
申请号 DE19916024865T 申请日期 1991.07.31
申请人 NIPPON PAINT CO., LTD., OSAKA, JP 发明人 MATSUMURA, AKIRA, HIRAKATA-SHI, OSAKA-FU, JP;ISHIKAWA, KATSUKIYO, KUZE-GUN, KYOTO-FU, JP
分类号 G03F7/038;G03F7/039;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/039 主分类号 G03F7/038
代理机构 代理人
主权项
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