| 发明名称 |
연마된 제품 표면의 미세한 결점 검사방법 및 장치 |
| 摘要 |
<p>내용 없음</p> |
| 申请公布号 |
KR830010380(A) |
申请公布日期 |
1983.12.30 |
| 申请号 |
KR19820002056 |
申请日期 |
1982.05.11 |
| 申请人 |
null, null |
发明人 |
다불류 제리 엘포오드;차아르즈 제이 쿠슁;제이므즈 디이 헌트;마이클 엘 스미스;리차아드 디이 밴더뉴트;제이므즈 엘 윌크스 |
| 分类号 |
H01L21/66;G01N21/88;G01N21/956 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
