发明名称 |
DIELECTRICS ISOLATION SUBSTRATE AND ITS MANUFACTURE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH09181167(A) |
申请公布日期 |
1997.07.11 |
申请号 |
JP19950340657 |
申请日期 |
1995.12.27 |
申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC WORKS LTD |
发明人 |
OGIWARA ATSUSHI |
分类号 |
H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/762 |
主分类号 |
H01L21/762 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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