发明名称 DIELECTRICS ISOLATION SUBSTRATE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH09181167(A) 申请公布日期 1997.07.11
申请号 JP19950340657 申请日期 1995.12.27
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC WORKS LTD 发明人 OGIWARA ATSUSHI
分类号 H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/762 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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