摘要 |
<p>Die Erfindung schafft einen Magnetfeldsensor, und insbesondere einen in der Technologie der Oberflächenmikromechanik herstellbarer Magnetfeldsensor, mit einer Leiterschleife (1; 1'; 1''; 1'''; 1''''), welche zumindest einen deformierbaren Abschnitt (2; 2'; 2'') aufweist; einer Deformationseinrichtung (20; 20'; 20''; 7; 70; 8; 80) zum Deformieren des deformierbaren Abschnitts (2; 2'; 2'') der Leiterschleife (1; 1'; 1''; 1'''; 1'''') mit einer vorbestimmbaren Zeitabhängigkeit; einer Spannungserfassungseinrichtung zum Erfassen der an den Enden der Leiterschleife (1; 1'; 1''; 1'''; 1'''') beim Deformieren in Gegenwart eines Magnetfelds (B) induzierten Spannung (U) und einer Magnetfeld-Ermittlungseinrichtung zum Ermitteln des gegenwärtigen statischen und/oder dynamischen Magnetfelds (B) unter Berücksichtigung von zumindest der Zeitabhängigkeit des Deformierens.</p> |