一种超洁净气体输送与转移泵

摘要

本发明公开了一种超洁净气体输送与转移泵，基于液环泵基本原理设计，包括基座、安装于基座上的电机、与电机相连接的泵体、与泵体依次连接的水银回流收集器和水银蒸汽去除器；所述电机驱动泵体将超洁净气体吸入泵体进气口内，水银回流收集器和水银蒸汽去除器用于除去被输送气体中的微量水银蒸汽，电机驱动泵体的叶轮高速旋转，吸入和排出被输送气体，与此同时利用水银回流收集器和水银蒸汽去除器去除被输送气体中微量水银蒸汽；本发明设计科学合理，泵体的结构简单，重量轻，运行时噪声小，震动小；适用于超洁净氢及其同位素气体、惰性气体的输送和转移，可实现被输送气体的高效转移；能满足国内化学、原子能工业不同应用领域的特殊需求。

主权项

一种超洁净气体输送与转移泵，包括基座（1）、电机（2）、泵体（3）、水银回流收集器（4）和水银蒸汽去除器（5），其特征在于：所述基座（1）上安装有电机（2）和泵体（3），电机（2）和泵体（3）通过连接，所述泵体（3）的排气口（36）处依次连接有水银回流收集器（4）和水银蒸汽去除器（5）；所述排气口（36）与水银回流收集器进气口（41）连接，水银回流收集器（4）的气体出口（45）与水银蒸汽去除器进气口（52）连接。