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发明名称 INSPECTING METHOD FOR PERIODIC PATTERN
摘要
申请公布号 JPH01307647(A) 申请公布日期 1989.12.12
申请号 JP19880138104 申请日期 1988.06.03
申请人 DAINIPPON PRINTING CO LTD 发明人 WATANABE KAZUO
分类号 G01N21/88;G01N21/94;H01J9/14;H01L21/66 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
主权项
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