| 发明名称 |
MICROINDUCTOR AND MANUFACTURE THEREOF |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH06252350(A) |
申请公布日期 |
1994.09.09 |
| 申请号 |
JP19930039143 |
申请日期 |
1993.03.01 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
MATSUMOTO KOJI;TANAKA TSUTOMU;SHONO KEIJI |
| 分类号 |
C23C18/12;H01F41/14;H01L21/822;H01L27/04;H01L43/06;(IPC1-7):H01L27/04 |
主分类号 |
C23C18/12 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
