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发明名称 VAPOR GROWTH APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0799158(A) 申请公布日期 1995.04.11
申请号 JP19930264194 申请日期 1993.09.28
申请人 HITACHI CABLE LTD 发明人 MINAGAWA YASUSHI;NAKAZONO RYUICHI;UNNO TSUNEHIRO
分类号 H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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