发明名称 FORMING METHOD OF BUMP AND MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1092829(A) 申请公布日期 1998.04.10
申请号 JP19960245957 申请日期 1996.09.18
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 TOGASAKI TAKASHI;YAMADA HIROSHI
分类号 H01L21/60;H05K3/34;(IPC1-7):H01L21/321 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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