具有盖帽的图像感测装置和相关方法

摘要

图像感测装置可以包括互连层和由互连层所承载的栅格阵列接触，以及由互连层所承载并耦合至栅格阵列接触的图像传感器IC，图像传感器IC具有图像感测表面。图像感测装置可以包括由图像传感器IC承载并与图像感测表面对准的透明板，以及由互连层承载并且使得开口与图像感测表面对准的盖帽。盖帽可以具有间隔在互连层和图像传感器IC之上的上壁以限定内部空腔，以及盖帽可以限定耦合至内部空腔的通气孔。

主权项

一种图像感测装置，包括：互连层，以及由此所承载的多个栅格阵列接触；图像传感器集成电路(IC)，由所述互连层承载并且耦合至所述多个栅格阵列接触，所述图像传感器IC具有图像感测表面；透明板，由所述图像传感器IC承载并且与所述图像感测表面对准；以及盖帽，由所述互连层承载并且具有与所述图像感测表面对准的开口；所述盖帽具有在所述互连层和所述图像传感器IC上方间隔开的上壁以限定内部空腔；所述盖帽限定了被耦合至所述内部空腔的通气孔。