| 摘要 |
<p>Selon l'invention, une unité d'électrodes supérieure (103) formant la paroi supérieure de la chambre de traitement (102) d'un dispositif de gravure (100) comprend un premier ensemble (202) muni d'une électrode supérieure (124), un deuxième ensemble (204) servant de support au premier ensemble (202), et un troisième ensemble (206) incluant des trajets d'approvisionnement en énergie (172 et 178). Une fois libéré un deuxième mécanisme de verrouillage (150), et après qu'un troisième ensemble (206) soit retiré de façon indépendante par un mécanisme de retrait (208), le premier ensemble (202) est retiré et l'entretien de l'électrode supérieure (124) est effectué. Après fixation du deuxième mécanisme de verrouillage (150) et libération d'un premier mécanisme de verrouillage (200) les deuxième et troisième ensembles (204 et 206) sont retirés par le mécanisme de retrait (208), et l'intérieur de la chambre de traitement (102) est ouvert pour entretien. Cette construction offre ainsi un dispositif de traitement au plasma et un procédé de maintenance qui facilitent l'entretien et soulagent un travailleur d'une charge fastidieuse.</p> |
