发明名称 FORMATION METHOD OF WIRING LAYER IN SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR0161115(B1) 申请公布日期 1999.02.01
申请号 KR19950024992 申请日期 1995.08.14
申请人 LG SEMICONDUCTOR CO., LTD. 发明人 PARK, JAE-HYUN
分类号 H01L21/28;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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